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半导体洁净烘箱

半导体洁净烘箱

全新开发触摸屏操作系统,带高精度PID主控仪,控温精度为±0.1℃,自动恒温。可以保存配方,查看温度曲线,导出升温数据等。精密半导体洁净车间用无尘洁净烘箱适合于洁净车间内使用,适用于高精密半导体中烘干,胶水固化,精密光学元件清洗后烘干等热处理。
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产品详情

产品内容介绍


产品特点PRODUCT FEATURES


洁净烘箱广泛用于半导体晶圆、液晶、光学模组、摄像头模组和其他对烘烤要求较高的零件以及设备的热处理/干燥或老化,也适用于安装在洁净室环境中。100级的洁净度主要通过使用初效过滤器,HEPA高效过滤器和前后层流循环系统来实现的,在加热或冷却过程中提供稳定的性能。快速升温和恢复时间确保出色的温度控制和均匀性。具有独特的机械对流气流系统。风扇将底部烤箱产生的热量带走,防止损坏顶部单元。

洁净烘箱采用PT100铂传感器测量实际的腔室温度, 0.3µmHEPA高效过滤器,对空气进行有效循环过滤。烤箱还具备流量计和NPT配件,将惰性气体如氮气等引入腔室内进行特殊工艺烘烤,可以保持低至200PPM含氧水平。

洁净烘箱外材质为SPCC钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处理;内部是耐腐蚀的不锈钢。配备四个可调节的穿孔不锈钢托架,支架和机身易于拆卸,便于清洗。

安全功能包括独立超温保护,相序保护,断电保护等多重保护机制,确保使用安全。设有安全门,烘烤降温到指定温度后才可以打开门,确保操作人员操作安全。


1、SUS304 1.5mm不锈钢板,全满焊工艺;

2、箱内风道内设有洁净空气入口并装有高效过滤器。可使用换气和不换气模式,可以使箱内保证微正压,以保证污染物不能进入内箱;

3、高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室,可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求,可以满足洁净级别ISO Class 5(国标100级),ISO Class 6(国标1000级),ISO Class 7(国标10000级)等各种等级的需求;

4、配置自动充氮气装置,与自动开关风门进行充氮烘烤;

5、全新开发触摸屏操作系统,带高精度PID主控仪,控温精度为±0.1℃,自动恒温。可以保存配方,查看温度曲线,导出升温数据等;

6、根据使用要求,可以接受定制。

产品参数

PRODUCT PARAMETERS

型号

YH-J100-ES-02

温度范围

常温—300

温度精度

±1

温度均匀性

±2%(空载)

加热功率

6KW

容积

350L

工作尺寸

(高**深)

910*620*620(mm)

外部尺寸

(高**深)

1750*855*1030(mm)

过滤器

HEPA耐高温高效过滤器(CLASS 100

含氧量范围

1%-100PPM(选配)

升温速率

升温速率可调,空载常温升至175℃大约30分钟

定制服务

CUSTOM SERVICE

深圳秋葵视频app官网入口ios可以提供不同程度的均匀性、尺寸、温度范围;如果您有特定的要求或规格,请根据您的需求与秋葵视频app官网入口ios联系,以便秋葵视频app官网入口ios确保设备的设计、测试和调整能够满足您的要求。

 

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