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精密半导体洁净车间用无尘烘箱

精密半导体洁净车间用无尘烘箱

无尘烘箱广泛用于半导体晶圆、液晶、光学模组、摄像头模组和其他对烘烤要求较高的零件以及设备的热处理/干燥或老化,也适用于安装在洁净室环境中。100级的清洁度主要通过使用初效过滤器,HEPA高效过滤器和前后层流循环系统来实现的,在加热或冷却过程中提供稳定的性能。
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产品详情

产品内容介绍


产品特点PRODUCT FEATURES


无尘烘箱广泛用于半导体晶圆、液晶、光学模组、摄像头模组和其他对烘烤要求较高的零件以及设备的热处理/干燥或老化,也适用于安装在洁净室环境中。100级的清洁度主要通过使用初效过滤器,HEPA高效过滤器和前后层流循环系统来实现的,在加热或冷却过程中提供稳定的性能。

简单便捷的PID 微处理器温度控制范围可从环境温度 +15°C至 200°C 范围内设置。无尘烘箱采用PT100铂传感器测量实际的腔室温度, 0.3µmHEPA高效过滤器,对空气进行有效循环过滤。还可以选配流量计和NPT配件,将惰性气体引入腔室内进行特殊工艺烘烤。

无尘烘箱外材质为SPCC钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处理;内部是耐腐蚀的不锈钢。配备四个可调节的穿孔不锈钢托架,支架和机身易于拆卸,便于清洗。

安全功能包括独立超温保护,相序保护,断电保护等多重保护机制,确保使用安全。设有安全门,烘烤降温到指定温度后才可以打开门,确保操作人员操作安全。

产品特点

●所有焊接和密封结构确保持续低颗粒数;

内腔采用不锈钢(304型),耐腐蚀;

内胆采用满焊处理,管路采用无缝不锈钢管件焊接处理;

外部烤漆为白色粉末涂层,可提供持久的防腐蚀保护;

利用玻璃纤维绝缘,以确保机柜较低的表面温度;

重型门双密封保温结构;

独立的超温保护;

每个烤箱都是完全组装的和通过工厂的独立测试;

耐热HEPA空气过滤输送系统;

所有再循环空气进行循环过滤,不使用环境洁净室空气;

在过滤器需更换时,能够通过空气压力表了解;

高容量水平空气再循环系统和电加热系统可实现性能温度。

产品参数

PRODUCT PARAMETERS


温度范围

室温.+20~200°C

控制精度

+/- 1.0°C

温度分布精度

±2°C(在100°C),±3°C(在150°C)

温度提升时间

25min(室温,→150°C)。空腔室

操作功能

可选固定温度或程序操作

内部尺寸

X宽X深

910x620x620(mm)


外部尺寸

X宽X深

1750x855x1030(mm)


工作空间容量

350升(12.3立方英尺)

过滤装置

150mm HEPA耐高温高效过滤器

电源

3380V


选配组件

OPTIONAL COMPONENT


半导体烤箱1

             1、温度记录器(纸质化或无纸化)

             2、可编程控制器、以太网和485/232通信

             3、用于运输和安装的无尘室包装

             4、层架

             5、MES通讯设置




 

 

 

 

 

 


定制服务

CUSTOM SERVICE深圳秋葵视频app官网入口ios可以提供不同程度的均匀性、尺寸、温度范围;如果您有特定的要求或规格,请根据您的需求与秋葵视频app官网入口ios联系,以便秋葵视频app官网入口ios确保设备的设计、测试和调整能够满足您的要求。 

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